大众网记者 张凤帅 高志玟 德州报道

10月30日，全省重点产业链标准稳链暨标准赋能先进制造业现场会在德州召开。天衢新区是绕不开的坐标——德州以集成电路为主导的规上工业企业，九成以上的营收落在这片区域。

会上讨论的不是产能，不是项目，是一个有些枯燥的词：标准。

德州市副市长、市政府党组成员、天衢新区党工委书记徐立峰在致辞里提了一句，“标准稳链”是产业升级的“硬支撑”，也是协同创新的“连接器”。这句话搁在天衢新区身上，得从十三年前讲起。

2013年，威讯半导体把新厂区选在了德州。那时候天衢新区的半导体产业产值只有1.27亿元。一个射频芯片封装测试的龙头企业落在一个半导体基础薄弱的北方城市，当时不少人捏着汗。但这一步棋走对了。五年后，2018年，中国有研科技集团带着半导体材料项目集群进来，“有研系”在德州陆续布局七大项目，投资过百亿，占地近千亩。天衢新区从“单个项目”开始往“一条链”上走。

真正让这条链“稳”住的，是标准。

山东有研半导体材料有限公司副总经理宁永铎讲了一个问题：半导体晶片加工精度要求极高，使用不同方法评价同一个指标会产生差异。同一批产品，上游用一种方法测，判定合格；下游换一种方法，可能就不认。问题不出在产品上，出在双方手里的认知差异。这种认知差异就好比双方使用的“尺子”不一样。

山东有研把标准化作为提升行业话语权的抓手，在半导体材料领域努力把“尺子”统一起来。标准立项、编制、报批，环节多、周期长。天衢新区综合执法部在这上面搭了把手，组织专家上门帮扶，跨部门协调，帮企业把卡住的环节一个个疏通。这些年下来，有研主导参与半导体材料领域标准20项，其中《半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分：高度径向二阶导数法（ZDD）》，就是评价晶片近边缘形态的一把“尺子”。这个标准获评山东省高水平标准化基础项目。今年2月，“集成电路刻蚀设备用硅部件标准化战略性重点项目”入围省级项目。山东有研的连续获奖传递出一种信号：标准这件事，省里支持，行业认同。

宁永铎说：“一项技术刚出来，先要在用户手里反复打磨，慢慢成熟。同行也会开发出类似的技术和产品。上下游各说各话，市场就容易乱。这时候，领先的企业就得牵头把标准立起来。研制标准的过程，其实也是上下游、同行之间反复讨论、互相交底的过程。标准做好了，大家都有收获。”

标准需要落地实施才能发挥价值。纳入重点项目任务的《半导体晶片近边缘几何形态评价 第二部分 边缘卷曲法》在2026年2月发布，《半导体晶片近边缘几何形态评价 第三部分 完整区域平整度法》和《300mm硅片表面纳米形貌测试法》两项国家标准在2026年7月颁布，《半导体晶片切口尺寸测试》国家标准进入预审阶段。关键零部件领域，《化学气相沉积用硅喷射管》《高温扩散用硅舟及硅保温筒》正在走发布审批手续。今年1月，全国半导体材料与设备委员会分技术委员会会议开在了山东有研，总经理张果虎是分委员会副主任委员，会上审定发布标准5项、审议10项。

天衢新区的集成电路产业链，是靠这样一把一把的“尺子”支撑起来的。从8英寸硅片月产能30万片，到12英寸大硅片月产能15万片；从2013年的1.27亿元，到2025年全区集成电路规上企业营收近300亿元、占德州全市98%。数字是结果，标准是过程。

集成电路产业是德州产业的一个缩影。德州全市企事业单位累计主导或参与制修订各类标准2102项，其中国际标准4项、国家标准635项、行业标准515项。标准稳链这件事，说到底就是一句朴素的话：产业要往上走，先得把检测和判定的尺子立起来，立统一了。天衢新区量了十三年，量的就是这个。