人民网北京8月3日电 （记者夏晓伦）“临港新片区将继续以优质的营商环境和服务保障，全力支持片区企业扎根临港、放眼全球、做大做强。”中国（上海）自由贸易试验区临港新片区管理委员会党工委副书记吴晓华在近日举行的中微大厦落成仪式上表示。

据了解，临港新片区是国家战略承载地，当前已建成覆盖芯片设计、先进制造、关键装备、材料、封测的全链条产业生态，产业产值多年保持高速增长，依托靶向扶持政策、全周期产业服务，持续集聚链主企业、上下游配套与科创资本，全力建设综合性集成电路产业创新基地。

中微公司创始人、董事长兼总经理尹志尧在仪式上介绍，公司正加速推进“有机生长”与“外延拓展”相结合的三维立体生长战略。力争到2035年，在规模上、产品竞争力和客户满意度上成为全球第一梯队的半导体设备公司。届时，生产和研发厂房总面积将达到90万平方米，是原有厂房面积的30倍，年生产能力将提升至700亿元以上。

据介绍，落成投入使用的中微大厦位于滴水湖核心科创区，占地25亩、建筑面积10.5万平方米，主楼高100米，是临港科技城标志性建筑。楼宇按照LEED金级、绿色建筑二星标准建造，搭载智能运维系统，配套景观花园、开放式餐饮休闲空间，顶层400米LED展示长廊兼具科创展示与公共服务功能，兼顾低碳发展与产城融合需求。

公开资料显示，22年来，中微公司深耕原子级微观加工设备研发，累计推出54类高端半导体装备，超8800台反应台实现海内外产线量产，连续14年保持年均35%以上营收增长。2025年企业研发投入达37.4亿元，占营收30.2%；近期完成杭州众硅并购，补齐CMP设备产品线，实现刻蚀、薄膜、抛光装备全覆盖，科创板简易并购重组案例为产业资源整合提供示范。依托智微资本等产业基金，公司持续撬动产业链创新资源。

活动同步举行上海中微儿童公益基金会揭牌。多年来企业深耕助老、助学、儿童大病救助等公益事业，以产业发展反哺社会民生。业内人士认为，此次大厦启用，将进一步释放龙头企业创新辐射效应，加速临港集成电路全产业链强链补链，助力世界级产业集群建设。